XP-62X 三維XYZ向壓電納米定位臺

參考價: 面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

型號XP-62X
品牌芯明天
所在地哈爾濱市
更新時間2026-07-21

廠商性質生產(chǎn)廠家
入駐年限第9年
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量370
人氣值761782

哈爾濱芯明天科技有限公司是專業(yè)從事微運動器（壓電陶瓷）和微運動控制器（壓電陶瓷控制器）產(chǎn)品的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務的高科技企業(yè)，我們的微運動器和微運動控制器產(chǎn)品是推動微制造、微工業(yè)、微軍事、微生物、微醫(yī)療、微光學等微觀領域發(fā)展的核心技術，是了解和操縱微觀世界的機器心臟。

哈爾濱芯明天科技有限公司經(jīng)過多年的項目研究與技術積累，擁有了自己的核心技術，開發(fā)出了系列化的微運動器與微運動控制器產(chǎn)品，廣泛地應用于國內各高校、科研院所及生物顯微鏡、光學儀器、燃油噴射系統(tǒng)、微小器件加工機床的公司；公司與哈爾濱工業(yè)大學的多個研究所有著多年的密切合作關系，按照科研與產(chǎn)業(yè)化相結合的道路持續(xù)發(fā)展；公司擁有雄厚的技術儲備和研發(fā)制造能力，并且擁有一群充滿熱情和富有創(chuàng)新能力的青年隊伍。

微運動器（壓電陶瓷）產(chǎn)品是微小運動或微小變化的執(zhí)行器，典型特點是體積小、重量輕、輸出力大、功耗低、運動速度快、運動精度高、運動分辨率高。

微運動控制器（壓電陶瓷控制器）產(chǎn)品是控制微運動器如何產(chǎn)生和產(chǎn)生多大的微小運動或變化的控制器，與微運動器配套使用；具有液晶顯示、智能控制算法、驅動功率大、嵌入式計算機控制等特點。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	是

三維XYZ向壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電定位臺，平臺內部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu) 化，柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有好的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質，使用過程中不受磁場的影響，壓電平臺體積小、結構緊湊易于集成。

三維XYZ向壓電納米定位臺產(chǎn)品詳情

特性：

1~3維自由組合

• 位移行程8μm • 大承載0.8kg • 重復定位精度可達納米級

• 亞毫秒響應時間

1-3維平移臺

P63系列壓電納米定位臺，包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多種運動方式可選。超小體積易于集成配套。

典型應用

• 顯微成像 • 納米定位

• 生物技術 • 半導體技術

• 質量保證測試 • 微車削

• 原子力顯微鏡

小體積、高精度、響應速度快

P63系列壓電納米定位臺重要的特點是超級精密且體積非常小巧，尺寸僅為30×24×42mm（X軸尺寸為30×24×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。

P63系列納米定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應用而設計的，具有超低慣性，響應時間可達0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進行高分辨率高速掃描。

應用實例

P63三維納米定位臺已經(jīng)應用于基于SEM在線納米切削平臺切削力測試實驗中。

三維XYZ向壓電納米定位臺技術參數(shù)：

型號	尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)	P63.X7S P63.X7K	P63.Z7S P63.Z7K	P63.XY7S P63.XY7K	P63.XZ7S P63.XZ7K	P63.XYZ7S P63.XYZ7K	單位
運動自由度		X	Z	X、Y	X、Z	X、Y、Z
標稱行程范圍（0~120V）		5.5	5.5	5.5/軸	5.5/軸	5.5/軸	μm±20%
大行程范圍（-20~150V）		8	8	8/軸	8/軸	8/軸	μm±20%
傳感器類型		SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
閉/開環(huán)分辨率		0.2/0.1	0.2/0.1	0.2/0.1	0.2/0.1	0.2/0.1	nm
閉環(huán)線性度		0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	%F.S.
閉環(huán)重復定位精度		0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.15/-	%F.S.
俯仰/偏航/滾動		<5	<5	<10	<10	<15	µrad
推/拉力		10/2	12/2	8/2	9/2	7/2	N
運動方向剛度		1.5	2	X1.2/Y1.4	X1.2/Z1.5	X0.9/Y1/Z1.2	N/μm±20%
空載諧振頻率		2	2.5	X1.3/Y1.9	X1.5/Z1.6	X0.9/Y0.95/Z1.2	kHz±20%
閉/開環(huán)空載階躍時間		1.5/0.3	1.5/0.3	1.5/0.3	1.5/0.3	1.5/0.3	ms±20%
閉環(huán)空載工作頻率	10%行程	1000	1000	500	500	200	Hz±20%
閉環(huán)空載工作頻率	行程	200	200	100	100	50	Hz±20%
大承載		0.8	0.8	0.5	0.5	0.4	kg
靜電容量		0.8	0.8	0.8/軸	0.8/軸	0.8/軸	μF±20%
材質		鋁	鋁	鋁	鋁	鋁
重量		70	70	120	120	160	g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。

關鍵詞：顯微鏡

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