XacTorr® 系列電容式壓力計

參考價: 面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

型號XacTorr?
品牌其他品牌
所在地深圳市
更新時間2026-08-14

深圳市科銳詩汀科技有限公司

廠商性質(zhì)代理商
入駐年限第17年
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量381
人氣值655725

公司介紹主營產(chǎn)品

深圳市科銳詩汀科技有限公司，位于中國改革開放的前沿城市——深圳，坐落在深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道勞動社區(qū)西鄉(xiāng)大道和寶源路交匯處*大道B座（寫字樓）6I。

公司交通便利，乘坐地鐵11號線碧海灣站，地鐵1號線西鄉(xiāng)站即可到達(dá)。

公司專注于真空及鍍膜設(shè)備行業(yè)，致力于把世界上真空產(chǎn)品和設(shè)備引進(jìn)中國，為我們的客戶創(chuàng)造更多的價值。

多年來，在真空及鍍膜行業(yè)，我們積累了豐富的專業(yè)知識和行業(yè)經(jīng)驗，誠信為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù), 在真空、光學(xué)、電子、半導(dǎo)體、平板顯示、LED、太陽能等相關(guān)領(lǐng)域，我們與客戶緊密合作，共贏發(fā)展，擁有了大量的優(yōu)質(zhì)合作伙伴。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	進(jìn)口	加工定制	否

穩(wěn)定可靠的數(shù)字電容式真空計可提供精確的工藝真空測量，具有更高的穩(wěn)定性、更強(qiáng)的抗污染能力，并能有效降低熱效應(yīng)。

系列電容式壓力計產(chǎn)品詳情

XacTorr®（CMX 系列）電容式壓力計

品牌：Brooks Instrument（布魯克斯），半導(dǎo)體行業(yè)主流數(shù)字式電容薄膜真空計（Capacitance Manometer），用于直接測量絕對真空壓力，不受氣體種類影響，廣泛用于半導(dǎo)體鍍膜、刻蝕、ALD、MOCVD 等工藝Brooks Ins...。

型號區(qū)分（按恒溫溫度）

表格

型號	恒溫溫度	典型精度	適用場景
CMX0	常溫（無加熱）	±0.25% 讀數(shù)	潔凈無冷凝氣體，普通腔體，經(jīng)濟(jì)型
CMX1（CMX45）	45℃恒溫	1?1000?Torr：±0.15% 讀數(shù)；＜1?Torr：±0.25% 讀數(shù)	CVD、PVD，普通薄膜工藝
CMX2（CMX100）	100℃恒溫	同 CMX1	易冷凝前驅(qū)體、ALD、MOCVD 金屬有機(jī)源工藝
CMX3（CMX160）	160℃恒溫	10?100?Torr：±0.25% 讀數(shù)	高沸點(diǎn)、強(qiáng)冷凝氣體、刻蝕腔體

核心規(guī)格參數(shù)

全度量程：0.1?/?1?/?2?/?10?/?20?/?100?/?1000?Torr；同時支持 mBar、Pa 單位輸出
傳感器：zhuan li Mark?IV，Inconel 合金耐腐蝕膜片；自帶顆粒 / 可凝物沉降區(qū)，減少頻繁校零，延長壽命Cross Comp...
動態(tài)范圍：4 個數(shù)量級
輸出接口

模擬：0?10?Vdc
數(shù)字：RS485、DeviceNet、EtherNet/IP

溫控：雙區(qū)溫控，控溫精度 ±0.1℃；溫度未達(dá)標(biāo)禁止調(diào)零（Intelli?Touch 智能調(diào)零），避免誤校零
零點(diǎn)溫漂：0.002% FS/℃；滿量程溫漂：0.02% FS/℃

主要特點(diǎn)

全數(shù)字化架構(gòu)，摒棄老式電位器，降低電子漂移；多階數(shù)字校準(zhǔn)，實(shí)時補(bǔ)償環(huán)境溫度
獨(dú)立 RS485 診斷端口：不干擾設(shè)備主通訊，可在線監(jiān)控、數(shù)據(jù)采集、故障排查
可選快速響應(yīng)傳感器，適配閉環(huán)壓力控制
配套 XacTorr®?GUI 軟件，用于參數(shù)配置、讀取、診斷

與老款 CMC 系列對比Brooks Ins...

CMC：僅常溫、只有 0?10V 模擬輸出、無數(shù)字總線，低成本通用鍍膜
XacTorr?CMX：可加熱恒溫、數(shù)字 + 模擬雙輸出、高精度、半導(dǎo)體工藝級，抗污染抗漂移

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體設(shè)備：PVD/CVD/ 刻蝕 / ALD/MOCVD；真空鍍膜；科研真空腔體；需要精確絕對壓力測量的工藝。

選型關(guān)鍵點(diǎn)：工藝是否存在可凝氣體，以此選擇 45/100/160℃加熱型號；再確定滿量程（Torr）。

關(guān)鍵詞：壓力計電位器

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