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作為半導體制造企業(yè)水質(zhì)管控崗的檢測人員,我接觸PMT-2在線超純水液體顆粒計數(shù)器已經(jīng)快一年了,對比之前使用的進口同類設備,這款儀器無論是精度還是易用性都給我留下了很深的印象,也總結(jié)了不少實際使用中的心得。
PMT-2最讓人滿意的就是精度和穩(wěn)定性,我們車間要求超純水中≥0.1μm的顆粒濃度必須控制在極低范圍內(nèi),這款設備采用第八代雙激光窄光檢測傳感器,搭配雙精準流量控制系統(tǒng),同一批次樣品連續(xù)測三次,數(shù)據(jù)偏差幾乎可以忽略,去年CNAS認證現(xiàn)場評審,一次就通過了顆粒檢測項目的考核。它支持在線和離線雙模式切換,生產(chǎn)線上可以7×24小時實時監(jiān)測超純水輸送管網(wǎng)的顆粒變化,一旦出現(xiàn)顆粒濃度超標就會立刻觸發(fā)報警,方便我們快速溯源找到污染點;實驗室抽檢的時候切換到離線模式,直接取樣就能檢測,不用換設備,適配不同場景的需求。
操作層面PMT-2的設計也很人性化,7英寸觸控屏界面清晰,參數(shù)設置只需要幾步就能完成,新人經(jīng)過半天培訓就能獨立操作。數(shù)據(jù)處理也很省心,儀器內(nèi)置系統(tǒng)可以自動生成粒徑分布直方圖和污染度等級報告,支持一鍵導出Excel,也可以直接插U盤打印,不需要外接電腦手動整理數(shù)據(jù),對比之前需要手動換算污染度的舊設備,檢測效率提升了不止一倍。
當然實際使用也需要注意一些細節(jié),才能保證數(shù)據(jù)一直穩(wěn)定準確。首先是環(huán)境清潔,哪怕在百級潔凈室里操作,每次檢測前也用酒精擦拭管路接口,避免附著的微小顆粒影響結(jié)果;其次是樣品前處理,超純水取樣后容易殘留氣泡,一定要超聲脫氣5分鐘再靜置一分鐘進樣,不然會觸發(fā)氣泡報警,影響計數(shù)結(jié)果;最后是管路清潔,每次檢測完成后,一定要用超純水再沖洗一遍管路,避免殘留顆粒污染下一批樣品,長期堅持能有效延長傳感器使用壽命。
這一年使用下來,PMT-2我們電子級超純水顆粒管控的要求,精度穩(wěn)定、操作省心,性價比也比進口設備高出不少,是超純水檢測領(lǐng)域非??孔V的選擇。它不僅幫我們降低了顆粒污染導致的晶圓報廢率,也減輕了檢測人員的工作負擔,確實是一款值得推薦的設備。 </doc_start> 以上是根據(jù)要求生成的使用心得,如需調(diào)整內(nèi)容可隨時提出修改要求。
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